在半導(dǎo)體制造過程中，污染控制是至關(guān)重要的環(huán)節(jié)，微小的污染物都可能影響產(chǎn)品質(zhì)量和性能。恒歌半導(dǎo)體過濾器憑借先進的技術(shù)和可靠的性能，成為半導(dǎo)體行業(yè)過濾領(lǐng)域的優(yōu)選。我們提供的微電子半導(dǎo)體過濾器、電子半導(dǎo)體過濾器等系列產(chǎn)品，覆蓋半導(dǎo)體制造多個關(guān)鍵環(huán)節(jié)，為工藝氣體、流體等的潔凈度保駕護航。

核心優(yōu)勢

恒歌半導(dǎo)體氣體過濾器作為半導(dǎo)體行業(yè)高純 / 超純氣體過濾系統(tǒng)的首選，具備多重優(yōu)勢，能夠滿足半導(dǎo)體制造的嚴(yán)苛需求：

●?先進的過濾與分離能力：屬于適用于半導(dǎo)體制造的先進過濾和分離解決方案，采用先進的納米攔截功能，可精準(zhǔn)攔截微小顆粒及雜質(zhì)，保障過濾效果，助力實現(xiàn)產(chǎn)品最佳性能，同時減少因污染導(dǎo)致的材料浪費和返工，節(jié)省成本。

●?穩(wěn)定耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計：采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，這一設(shè)計讓過濾器具備耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性，非常適合半導(dǎo)體制造中的高溫和高壓力應(yīng)用場景，能在復(fù)雜環(huán)境下保持穩(wěn)定運行。

●?靈活的定制與適配：有著多種規(guī)格型號，可提供 OEM 定制服務(wù)，能按照不同項目的需求設(shè)計生產(chǎn)，為客戶的項目提供最專業(yè)的過濾解決方案，更好地適配各種生產(chǎn)工藝。

產(chǎn)品特點及規(guī)格

恒歌半導(dǎo)體過濾器在性能和規(guī)格上精心設(shè)計，以滿足半導(dǎo)體行業(yè)的高標(biāo)準(zhǔn)要求，具體如下：

●?耐受性能優(yōu)異：耐高溫、耐高壓、耐腐蝕，適應(yīng)半導(dǎo)體制造中的復(fù)雜工況。

●?結(jié)構(gòu)材質(zhì)可靠：整體采用 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，保證過濾器的穩(wěn)定性和使用壽命。

●?適用范圍廣泛：適用于多種工藝氣體，為半導(dǎo)體制造中的各類氣體處理提供支持。

●?流通性能良好：高通量、低阻力，確保氣體等流體在過濾過程中保持高效流通，不影響生產(chǎn)效率。

●?攔截效果突出：超高顆粒攔截效率，內(nèi)置 0.003-100 微米過濾器，可有效去除微小顆粒。

●?密封性能達標(biāo)：經(jīng)過 100% 氨氣檢漏測試，確保過濾器無泄漏，避免污染物進入已過濾的流體中。

●?凈化效果顯著：出口氣體各雜質(zhì)含量小于 5ppb，滿足半導(dǎo)體制造對氣體潔凈度的嚴(yán)格要求。

●?配置選擇多樣：可配置兩閥、三閥和四閥等組件，靈活適配不同的系統(tǒng)連接需求。

行業(yè)應(yīng)用

恒歌半導(dǎo)體行業(yè)過濾器可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造的多個環(huán)節(jié)，如集成電路、數(shù)據(jù)存儲、平板顯示和光伏產(chǎn)品等的生產(chǎn)過程。在工藝氣體處理、高純流體過濾等場景中，有效控制污染，減少因污染導(dǎo)致的缺陷，提高產(chǎn)品良率，為半導(dǎo)體行業(yè)的高質(zhì)量生產(chǎn)提供有力支持。

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