在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，工藝氣體的純凈度直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。微粒污染可能導(dǎo)致晶圓表面缺陷，進(jìn)而影響芯片的良品率和可靠性。因此，高效的氣體過濾系統(tǒng)是確保半導(dǎo)體生產(chǎn)順利進(jìn)行的關(guān)鍵。TF系列工藝氣體專用過濾器正是為滿足這一需求而設(shè)計(jì)的，它能夠精準(zhǔn)清除UHP(超純)氣流中的微粒，保障生產(chǎn)過程的純凈度，是工藝氣體凈化的理想選擇。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

卡套式T型氣體過濾器采用頂級316L不銹鋼材料，這種材料具有優(yōu)異的耐腐蝕性和機(jī)械強(qiáng)度，能夠在惡劣的工藝環(huán)境中保持穩(wěn)定性能。316L不銹鋼的低磁性和良好的焊接性能，使其成為制造高精度、高可靠性的氣體過濾器的理想材料。此外，316L不銹鋼的表面處理工藝能夠有效減少顆粒脫落，進(jìn)一步保障氣體的純凈度。

2、高通量、低阻力

卡套式T型氣體過濾器的設(shè)計(jì)注重氣體流動的順暢性。其內(nèi)部結(jié)構(gòu)經(jīng)過優(yōu)化，能夠?qū)崿F(xiàn)高通量氣體的快速通過，同時(shí)保持極低的壓力損耗。這對于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中對氣體流量和壓力的嚴(yán)格要求至關(guān)重要。低阻力設(shè)計(jì)不僅提高了生產(chǎn)效率，還降低了能源消耗，符合現(xiàn)代制造業(yè)對節(jié)能環(huán)保的要求。

3、超高顆粒攔截率

卡套式T型氣體過濾器的核心優(yōu)勢在于其卓越的微粒過濾效率。它能夠精準(zhǔn)清除UHP超純氣流中的微粒，攔截率高達(dá)99.999%以上，確保氣體中微粒含量低于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求。這種高效的過濾性能得益于其先進(jìn)的過濾介質(zhì)和獨(dú)特的過濾結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，能夠有效捕捉并攔截氣體中的微小顆粒，防止其進(jìn)入生產(chǎn)環(huán)境。

4、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，氣體過濾器需要承受高溫、高壓和腐蝕性氣體的挑戰(zhàn)。TF系列過濾器采用的316L不銹鋼材料，使其具備了耐高溫(最高可達(dá)200℃)、耐高壓(最大工作壓力可達(dá)10bar)和耐腐蝕的特性。這使得過濾器能夠在多種工藝氣體環(huán)境中穩(wěn)定運(yùn)行，無論是高純氮?dú)狻⒀鯕猓€是腐蝕性較強(qiáng)的氣體，如氯氣、氫氟酸氣體等，都能有效過濾，確保氣體的純凈度。

5、適用于多種工藝氣體

卡套式T型氣體過濾器的設(shè)計(jì)充分考慮了半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的多樣性。它適用于多種工藝氣體，包括但不限于高純氮?dú)狻⒀鯕狻鍤狻錃獾龋约耙恍┚哂懈g性的氣體，如氯氣、氫氟酸氣體等。這種廣泛的適用性使得TF系列過濾器能夠滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)中不同工藝環(huán)節(jié)對氣體凈化的需求。

6、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

半導(dǎo)體生產(chǎn)對環(huán)境的潔凈度要求極高，過濾閥三通過濾器完全符合潔凈室環(huán)境的使用標(biāo)準(zhǔn)。其制造、測試和包裝過程均在潔凈室內(nèi)完成，確保產(chǎn)品在出廠前就處于無污染狀態(tài)。這種嚴(yán)格的生產(chǎn)流程保證了過濾器在安裝和使用過程中不會引入新的污染源，進(jìn)一步保障了半導(dǎo)體生產(chǎn)的純凈度。

7、100%完整性測試

為了確保過濾器的性能和可靠性，過濾閥三通過濾器在出廠前經(jīng)過100%完整性測試。這意味著每一件產(chǎn)品都經(jīng)過嚴(yán)格的質(zhì)量檢測，確保其過濾效率、密封性能和結(jié)構(gòu)完整性符合最高標(biāo)準(zhǔn)。這種全面的質(zhì)量控制措施為用戶提供了可靠的保障，減少了因過濾器故障導(dǎo)致的生產(chǎn)中斷風(fēng)險(xiǎn)。

8、100%氨氣檢漏測試

除了完整性測試外，過濾閥三通過濾器還經(jīng)過100%氨氣檢漏測試。氨氣是一種靈敏的檢漏氣體，能夠檢測出微小的泄漏點(diǎn)。通過這種嚴(yán)格的測試，TF系列過濾器能夠確保在實(shí)際使用中不會發(fā)生氣體泄漏，保障生產(chǎn)環(huán)境的安全性和氣體的純凈度。

安裝與使用

1、安裝簡便

過濾閥三通過濾器的安裝過程非常簡便，僅需進(jìn)行氣路對接和螺母緊固，無需復(fù)雜的焊接操作。這種設(shè)計(jì)不僅減少了安裝時(shí)間和成本，還避免了焊接過程中可能引入的污染和泄漏風(fēng)險(xiǎn)。其緊湊的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得過濾器能夠輕松安裝在現(xiàn)有的工藝氣路中，無需對現(xiàn)有設(shè)備進(jìn)行大規(guī)模改造。

2、密封無憂

過濾閥三通過濾器采用先進(jìn)的密封技術(shù)，確保在高壓和高溫條件下的密封性能。其密封部件采用高質(zhì)量的耐腐蝕材料，能夠有效防止氣體泄漏。此外，過濾器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)也經(jīng)過優(yōu)化，進(jìn)一步增強(qiáng)了密封性能。這種雙重保障使得用戶在使用過程中無需擔(dān)心泄漏問題，確保生產(chǎn)過程的安全和穩(wěn)定。