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半導(dǎo)體超高純度氣體過濾器_定制型氣體過濾器


  • 供貨能力: 每月10000件以上
  • 定制方式: 來圖定制
  • 產(chǎn)地: 廣東深圳
  • 材質(zhì): 316/不銹鋼
  • 交期: 一周
  • 產(chǎn)品詳情

    BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。

    產(chǎn)品特點(diǎn)

    ? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

    ? 高通量、低阻力

    ? 超高顆粒攔截率

    ? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

    ? 適用于多種工藝氣體

    ? 適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

    ? 100%完整性測試

    ? 100%氨氣檢漏測試

    恒歌氣體專用過濾器有著多種規(guī)格型號(hào),可提供OEM定制服務(wù),按照您的需求設(shè)計(jì)生產(chǎn)大宗氣體專用過濾器,為您的項(xiàng)目提供最專業(yè)的過濾解決方案。

    產(chǎn)品參數(shù)

    濾芯材質(zhì) 316L不銹鋼粉末燒結(jié) 殼體材質(zhì) 316L不銹鋼
    最大進(jìn)氣壓力 207bar 最大工作壓差 5.2bar
    氦氣驗(yàn)證泄漏率 2×10-10cc/min 氦氣測試泄露率 1×10-10cc/min
    表面處理 外表面 Ra < 1.6μm 最高使用溫度 惰性氣體 400-500°C
    內(nèi)表面 Ra < 0.2μm 腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體 50°C
    顆粒攔截效率 ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm 下游潔凈度 ≥0.03particles/liter
    @>0.01um,30slpm
    顆粒攔截粒徑 ≧0.003μm

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