高壓高純度氣體過濾器_壓縮空氣氨氣濾芯納米級過濾器
HF系列不銹鋼高壓氣體專用過濾器它用于半導體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅固的316L不銹鋼結構和50Mpa設計壓力以及相對較輕的重量相結合、兼具高強度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳氫化合物、保護系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設備高效運行。濾芯可更換、維護簡便。
產(chǎn)品特點
1、整體316L不銹鋼結構
2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
4、過濾效率高、不易堵寒
5、安裝與檢修便捷高效
6、100%完整性測試通過
7、100%氨氣泄露檢測通過
技術參數(shù)
| 濾芯材質(zhì)?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內(nèi)表面??? | Ra < 1.6μm | 過濾精度μm | ≥10~0.003? |
| 外表面??? | 電解Ras0.13μm? | |||
| 最大工作壓差 | 500bar | 最大工作壓差 | 5bar | |
| 最高使用溫度 | 600°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rated flow |
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| 氦氣驗證泄漏率 | 1×10-1′cc/min | 氦氣測試泄漏率 | 1×10-9cc/min | |
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