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三通接頭過濾器_316L不銹鋼卡套過濾器T型三通


產品詳情

在半導體氣路系統中,氣路分支處的氣體分配與凈化往往需要額外設備配合,不僅增加了系統復雜度,還可能導致壓力損失與凈化效率下降。深圳恒歌推出的三通接頭過濾器,將 “三通分配” 與 “高效過濾” 功能集成一體,為半導體氣路分支場景提供簡潔、高效的凈化解決方案。

該過濾器采用三通結構設計,可直接接入氣路分支節點,在實現氣體分流的同時完成凈化處理,無需額外添加管道與接頭,大幅簡化了氣路系統結構,減少了泄漏風險點。其整體 316L 不銹鋼材質賦予設備出色的耐高溫(-28~+482℃)、耐高壓(部分型號可達 414bar/6000psig)與耐腐蝕性能,可適配半導體行業各類工藝氣體,避免材質老化影響凈化效果。

在過濾性能上,三通接頭過濾器具備超高顆粒攔截率,能精準捕捉 UHP 超純氣流中的微小雜質,確保每一條分支氣路的氣體純度都達到生產標準,從源頭規避微粒對半導體元件的污染。同時,其高通量、低阻力的設計特點,可在高效過濾的同時減少氣體流動損耗,保障各分支氣路的壓力與流量穩定,不影響生產節拍。

安裝與維護方面,三通接頭過濾器設計簡便,無需焊接,僅需通過氣路對接與螺母緊固即可完成安裝,降低了安裝過程中引入雜質的風險。此外,所有設備均經過 100% 完整性測試與 100% 氨氣檢漏測試,出廠品質有保障,可直接應用于半導體潔凈室的制造、測試、包裝等環節。

對于需要在氣路分支處實現高效凈化的半導體生產企業而言,三通接頭過濾器不僅簡化了系統設計,還能以可靠的性能保障各分支氣路的純凈度,是提升生產效率與產品質量的理想選擇。


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